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产品规格
可售数量： 100台
Aerotech ABL系列气浮轴承直驱直线运动平台，拥有超的定位功能，精度在0.2~0.5um之间。
设计特点
专为扫描和检查而设计
所有空气轴承表面上的有效空气预载
线性编码器反馈提供亚纳米分辨率
高刚性，可承受重载，并具有几何性能
行程达500毫米
前沿制造业，特别是在半导体和数据存储行业中，要求的定位公差超出了传统滚珠丝杠和机械轴承定位系统的能力。ABL1500空气轴承台具有完全主动的预紧力，极高的刚度和几何特性，为满足这些需求而设计。
空气轴承设计，实现高动态性能
ABL1500在垂直和水平表面上均带有空气预载功能。相对的薄膜压力可保持轴承的名义间隙公差。除了大的空气轴承表面可以将负载分配到较大的表面积上之外，这种设计还可以使平台具有刚度，非常适合重载或偏载。
制造技术导致了具有无法超越的几何特征的阶段。空气轴承具有固有的平均效应，可限度地提。薄膜将填充小的表面空隙并允许其他不规则性。此特性可产生螺距，滚动，偏航，直线度和平坦度规格。
直线电机驱动
此阶段的驱动力是Aerotech的BLMC系列无刷线性伺服电机。该设计体现了Aerotech作为电机制造商的悠久历史和经验。BLMC使用无铁力，这意味着零齿槽效应和无吸引力，从而实现了的运动平稳性。BLMC能够产生高的力和速度，代表了功率和性能的结合。
零维护
我们的完全非接触式空气轴承，非接触式线性电动机驱动器和非接触式反馈设备确保了Aerotech设备所期望的水平下的多年免维护运行。由于运动元件之间没有机械接触，所以随着时间的流逝，ABL1500不会遭受磨损或性能下降。使用寿命几乎是的，并且由于没有润滑-只有清洁，干燥的气体-空气轴承是洁净室和医疗应用的理想选择。
电缆管理
我们精心优化电缆弯曲半径，以确保多年无故障运行。万一发生故障，Aerotech的模块化设计使电缆更换变得快速简便，停机时间少。我们将所有客户要求的电缆，空气软管等都包含在CMS捆绑包中，以便于集成到终系统中。两端完全连接，可轻松集成到客户的机器中。
技术指标
机械规格
模型 | ABL1500-050 | ABL1500-100 | ABL1500-200 | ||
旅行 | 50毫米 | 100毫米 | 200毫米 | ||
准确性（1） | E1 | 已校准 | ±0.3微米 | ±0.3微米 | ±0.5微米 |
标准 | ±2.0微米 | ±4.0微米 | ±8.0微米 | ||
E3 | 已校准 | ±0.2微米 | ±0.2微米 | ±0.4微米 | |
标准 | ±1.0微米 | ±2.0微米 | ±5.0微米 | ||
重复性 （双向）（1） | E1 | ±0.1微米 | ±0.2微米 | ||
E3 | ±0.05微米 | ±0.05微米 | ±0.1微米 | ||
直线度（1） | ±0.25微米 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ||
平面度（1） | ±0.25微米 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ||
沥青 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | ||
滚 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | ||
偏航 | ±0.5弧秒 | ±1弧秒 | ±2弧秒 | ||
速度 | 2 m /秒 | ||||
加速度 | 2克（空载） | ||||
力（连续） | 93.6 N | ||||
载重量（2） | 卧式 | 35公斤 | |||
侧 | 25公斤 | ||||
运营压力 | 80 psi±5 psig | ||||
耗气量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa（0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴） | ||||
移动质量（空载） | 5.1公斤 | ||||
舞台质量 | 14.7公斤 | 16.0公斤 | 18.6公斤 | ||
材料 | 铝 | ||||
MTBF（平均无故障时间） | 30,000小时 | ||||
通过每个阶段的认证。
列出了轴上加载的轴方向。
规格适用于在桌面上方25 mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用，请咨询工厂。
为了防止空气轴承承受负压，建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。
供气必须清洁，干燥至0°F露点并过滤至0.25 µm或更高；建议使用纯度为99.9％的氮气。
对于XY配置，上轴行程为200 mm。如果上轴行程大于200 mm但等于或小于500 mm，则需要ABL1500WB作为下轴。
模型 | ABL1500-300 | ABL1500-400 | ABL1500-500 | ||
旅行 | 300毫米 | 400毫米 | 500毫米 | ||
准确性（1） | E1 | 已校准 | ±0.5微米 | ±0.6微米 | ±0.6微米 |
标准 | ±12.0微米 | ±16.0微米 | ±20.0微米 | ||
E3 | 已校准 | ±0.4微米 | ±0.5微米 | ±0.5微米 | |
标准 | ±5.0微米 | ±5.0微米 | ±5.0微米 | ||
重复性 （双向）（1） | E1 | ±0.2微米 | ±0.3微米 | ||
E3 | ±0.15微米 | ±0.2微米 | |||
直线度（1） | ±0.75微米 | ±1.5微米 | ±2.0微米 | ||
平面度（1） | ±0.75微米 | ±1.5微米 | ±2.0微米 | ||
沥青 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
滚 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
偏航 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
速度 | 2 m /秒 | ||||
加速度 | 2克（空载） | ||||
力（连续） | 93.6 N | ||||
载重量（2） | 卧式 | 35公斤 | |||
侧 | 25公斤 | ||||
运营压力 | 80 psi±5 psig | ||||
耗气量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa（0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴） | ||||
移动质量（空载） | 5.1公斤 | ||||
舞台质量 | 21.3公斤 | 23.9公斤 | 26.5公斤 | ||
材料 | 铝 | ||||
MTBF（平均无故障时间） | 30,000小时 | ||||
通过每个阶段的认证。
列出了轴上加载的轴方向。
规格适用于在桌面上方25 mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用，请咨询工厂。
为了防止空气轴承承受负压，建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。
供气必须清洁，干燥至0°F露点并过滤至0.25 µm或更高；建议使用纯度为99.9％的氮气。
对于XY配置，上轴行程为200 mm。如果上轴行程大于200 mm但等于或小于500 mm，则需要ABL1500WB作为下轴。
ABL系列定位平台优点：
•几何性能的气浮导轨
•1.2 m x 1.2 m 的行程
•光柵尺或激光回馈干涉仪
•亚微米定位精度
•XY 和 XYZ 集成系统
•无槽直接驱动电动机
同时我们还提供其他型号的纳米级直线、旋转高运动平台，比如 pro系列，ANT95系列等等。
Aerotech ABL系列气浮平台
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